利用米乐M6易游国产化高精度数字源表，搭配高精度探针台，搭建一套基于晶圆级别的微电子材料器件测试系统。下面我们以三极管测试为例，向大家介绍米乐M6易游这套极优性价比的电性能测试统系统主要由两部分组成，2台S系列高精度台式源表，1台高精度探针台。数字源表SMU是整个测试系统的核心部分，客户可以根据材料器件不同的电流、电压规格，配置不同量程的源表。所有的参数设置、测量结果、曲线等都将在米乐M6易游数字源表或上位机软件上呈现。